Politechnika Warszawska - Centralny System UwierzytelnianiaNie jesteś zalogowany | zaloguj się
katalog przedmiotów - pomoc

Wstęp do mikrosystemów

Informacje ogólne

Kod przedmiotu: 103A-ELEIK-ISP-WMS Kod Erasmus / ISCED: (brak danych) / (brak danych)
Nazwa przedmiotu: Wstęp do mikrosystemów
Jednostka: Wydział Elektroniki i Technik Informacyjnych
Grupy: ( Przedmioty obieralne )-Elektronika i inżynieria komputerowa-inż.-EITI
( Przedmioty podstawowe )-Mikrosystemy i systemy elektroniczne-mgr.-EITI
( Przedmioty techniczne )---EITI
( Systemy elektroniczne i mikroelektroniczne )-Elektronika i inżynieria komputerowa-inż.-EITI
Punkty ECTS i inne: 3.00
Język prowadzenia: polski
Jednostka decyzyjna:

103000 - Wydział Elektroniki i Technik Informacyjnych

Kod wydziałowy:

WMS

Numer wersji:

1

Skrócony opis:

Przedmiot dotyczy ekscytującej, interdyscyplinarnej dziedziny - mikrosystemów, popularnie zwanej MEMS (micro-electrical-mechanical-systems). Celem przedmiotu jest poznanie mikrosystemów w stopniu dostatecznym dla zrozumienia najistotniejszych jej zagadnień oraz przygotowanie do bardziej szczegółowych wykładów z tej dziedziny. Dziedzina mikrosystemy jest wysoce interdyscyplinarna, obejmująca wszystkie główne dziedziny techniki, włączając fizykę, chemię, biologię, oraz materiałoznawstwo. Żaden pojedynczy kurs nie jest w stanie objąć w szczegółach wszystkich tych dziedzin. W ramach przedmiotu dyskutowana będzie natura inżynierii w mikroskali, techniki wytwarzania, zastosowania mikroprzyrządów, zagadnienia dotyczące komercjalizacji MEMS oraz trendy przyszłościowe. Zagadnienia te będą analizowane na przykładzie trzech dziedzin ważnych obecnie dla MEMS: czujników, przyrządów w.cz. i przyrządów komunikacji optycznej.

Pełny opis:

Przedmiot dotyczy ekscytującej, interdyscyplinarnej dziedziny - mikrosystemów, popularnie zwanej MEMS (micro-electrical-mechanical-systems). Celem przedmiotu jest poznanie mikrosystemów w stopniu dostatecznym dla zrozumienia najistotniejszych jej zagadnień oraz przygotowanie do bardziej szczegółowych wykładów z tej dziedziny. Dziedzina mikrosystemy jest wysoce interdyscyplinarna, obejmująca wszystkie główne dziedziny techniki, włączając fizykę, chemię, biologię, oraz materiałoznawstwo. Żaden pojedynczy kurs nie jest w stanie objąć w szczegółach wszystkich tych dziedzin.
W ramach przedmiotu dyskutowana będzie natura inżynierii w mikroskali, techniki wytwarzania, zastosowania mikroprzyrządów, zagadnienia dotyczące komercjalizacji MEMS oraz trendy przyszłościowe. Zagadnienia te będą analizowane na przykładzie trzech dziedzin ważnych obecnie dla MEMS: czujników, przyrządów w.cz. i przyrządów komunikacji optycznej.



Treść wykładu
Przegląd mikrosystemów. Co to jest MEMS?, definicje i klasyfikacje, historia, zastosowania (standardowe zastosowania MEMS, nowe zastosowania MEMS), rynek MEMS, problemy miniaturyzacji (2h).
Metody mikrowytwarzania 1: litografia i mikroobróbka objętościowa - trwienie izo- i anizotropowe (2h).

Metody mikrowytwarzania 2: techniki mikroobróbki powierzchniowej (2h).
Metody mikrowytwarzania 3: techniki nietradycyjne (LIGA, EFAB, mikroobróbka laserowa) (2h).
Przegląd czujników i aktuatorów MEMS: czujniki i aktuatory mechaniczne, czujniki i aktuatory radiacyjne (optyczne), czujniki i aktuatory termiczne, czujniki i aktuatory magnetyczne (4h).

Czujniki ciśnienia i przetworniki MEMS
(2h).

Akcelerometry i żyroskopy MEMS, przetworniki DMD (3h).

Przegląd mikroprzyrządów optycznych (2h).

Przyrządy optyczne MEMS: mikrolasery, przełączniki, światłowody (2h).
Przyrządy w.cz. MEMS: elementy bierne (strojone pojemności, indukcyjności, filtry rezonansowe, sprzęgacze, anteny), elementy aktywne (przełączniki), linie transmisyjne i opóźniające, elementy złożone (przesuwniki fazy, mieszacze, zespoły anten) (2h).

Przegląd biomedycznych MEMS (1h).

Struktury mikrocieczowe (microfluidic chips) (1h).

Przyrządy małoinwazyjne (minimally invasive devices) (1h).
Co dalej: MEMS, NEMS, mikroprodukcja i nanotechnologia (2h).
Podsumowanie i zaliczenie (2h).



Poprzedniki

Typ poprzednikaNr poprzednikaKod poprzednikaNazwa poprzednika
Zalecany1103B-ELEIM-ISP-USEUkłady i systemy elektroniczne
Zalecany2103C-ELxxx-ISP-PPPrzyrządy półprzewodnikowe
Zalecany2103C-TExxx-ISP-ELIUElementy i układy elektroniczne

Literatura:

    1. Nadim Maluf, "An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering", Artech House Mems Library

    2. Stephen D. Sennturia, "Microsystems Design",, Kulwer Academic, 2001

Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2019/2020 - sem. letni" (w trakcie)

Okres: 2020-02-22 - 2020-09-30
Wybrany podział planu:


powiększ
zobacz plan zajęć
Typ zajęć: Wykład, 30 godzin, 60 miejsc więcej informacji
Koordynatorzy: Andrzej Mazurak, Robert Mroczyński
Prowadzący grup: Andrzej Mazurak
Lista studentów: (nie masz dostępu)
Zaliczenie: Ocena łączna
Jednostka realizująca:

103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki

Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2019/2020 - sem. zimowy" (zakończony)

Okres: 2019-10-01 - 2020-02-21
Wybrany podział planu:


powiększ
zobacz plan zajęć
Typ zajęć: Wykład, 30 godzin, 60 miejsc więcej informacji
Koordynatorzy: Andrzej Mazurak, Robert Mroczyński
Prowadzący grup: Andrzej Mazurak
Lista studentów: (nie masz dostępu)
Zaliczenie: Ocena łączna
Jednostka realizująca:

103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki

Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2018/2019 - sem. letni" (zakończony)

Okres: 2019-02-18 - 2019-09-30
Wybrany podział planu:


powiększ
zobacz plan zajęć
Typ zajęć: Wykład, 30 godzin, 60 miejsc więcej informacji
Koordynatorzy: Andrzej Mazurak, Robert Mroczyński
Prowadzący grup: Andrzej Mazurak
Lista studentów: (nie masz dostępu)
Zaliczenie: Ocena łączna
Jednostka realizująca:

103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki

Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2018/2019 - sem. zimowy" (zakończony)

Okres: 2018-10-01 - 2019-02-17
Wybrany podział planu:


powiększ
zobacz plan zajęć
Typ zajęć: Wykład, 30 godzin, 60 miejsc więcej informacji
Koordynatorzy: Andrzej Mazurak, Robert Mroczyński
Prowadzący grup: Andrzej Mazurak
Lista studentów: (nie masz dostępu)
Zaliczenie: Ocena łączna
Jednostka realizująca:

103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki

Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2017/2018 - sem. zimowy" (zakończony)

Okres: 2017-10-01 - 2018-02-18
Wybrany podział planu:


powiększ
zobacz plan zajęć
Typ zajęć: Wykład, 30 godzin, 60 miejsc więcej informacji
Koordynatorzy: Andrzej Mazurak
Prowadzący grup: Andrzej Mazurak
Lista studentów: (nie masz dostępu)
Zaliczenie: Ocena łączna
Jednostka realizująca:

103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki

Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2016/2017 - sem. letni" (zakończony)

Okres: 2017-02-20 - 2017-09-30
Wybrany podział planu:


powiększ
zobacz plan zajęć
Typ zajęć: Wykład, 30 godzin, 60 miejsc więcej informacji
Koordynatorzy: Andrzej Mazurak
Prowadzący grup: Andrzej Mazurak
Lista studentów: (nie masz dostępu)
Zaliczenie: Ocena łączna
Jednostka realizująca:

103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki

Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2016/2017 - sem. zimowy" (zakończony)

Okres: 2016-10-01 - 2017-02-19
Wybrany podział planu:


powiększ
zobacz plan zajęć
Typ zajęć: Wykład, 30 godzin, 60 miejsc więcej informacji
Koordynatorzy: Andrzej Mazurak
Prowadzący grup: Andrzej Mazurak
Lista studentów: (nie masz dostępu)
Zaliczenie: Ocena łączna
Jednostka realizująca:

103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki

Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2015/2016 - sem. letni" (zakończony)

Okres: 2016-02-23 - 2016-09-30
Wybrany podział planu:


powiększ
zobacz plan zajęć
Typ zajęć: Wykład, 30 godzin, 60 miejsc więcej informacji
Koordynatorzy: Andrzej Mazurak
Prowadzący grup: Andrzej Mazurak
Lista studentów: (nie masz dostępu)
Zaliczenie: Ocena łączna
Jednostka realizująca:

103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki

Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2014/2015 - sem. letni" (zakończony)

Okres: 2015-02-23 - 2015-09-30
Wybrany podział planu:


powiększ
zobacz plan zajęć
Typ zajęć: Wykład, 30 godzin, 60 miejsc więcej informacji
Koordynatorzy: Andrzej Mazurak
Prowadzący grup: Andrzej Mazurak
Lista studentów: (nie masz dostępu)
Zaliczenie: Ocena łączna
Jednostka realizująca:

103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki

Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2014/2015 - sem. zimowy" (zakończony)

Okres: 2014-09-29 - 2015-02-22
Wybrany podział planu:


powiększ
zobacz plan zajęć
Typ zajęć: Wykład, 30 godzin, 60 miejsc więcej informacji
Koordynatorzy: Zbigniew Pióro
Prowadzący grup: Zbigniew Pióro
Lista studentów: (nie masz dostępu)
Zaliczenie: Ocena łączna
Jednostka realizująca:

103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki

Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2013/2014 - sem. letni" (zakończony)

Okres: 2014-02-24 - 2014-09-28
Wybrany podział planu:


powiększ
zobacz plan zajęć
Typ zajęć: Wykład, 30 godzin, 60 miejsc więcej informacji
Koordynatorzy: Zbigniew Pióro
Prowadzący grup: Zbigniew Pióro
Lista studentów: (nie masz dostępu)
Zaliczenie: Ocena łączna
Jednostka realizująca:

103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki

Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2013/2014 - sem. zimowy" (zakończony)

Okres: 2013-10-01 - 2014-02-23
Wybrany podział planu:


powiększ
zobacz plan zajęć
Typ zajęć: Wykład, 30 godzin, 60 miejsc więcej informacji
Koordynatorzy: Zbigniew Pióro
Prowadzący grup: Zbigniew Pióro
Lista studentów: (nie masz dostępu)
Zaliczenie: Ocena łączna
Jednostka realizująca:

103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki

Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2012/2013 - sem. letni" (zakończony)

Okres: 2013-02-20 - 2013-09-30
Wybrany podział planu:


powiększ
zobacz plan zajęć
Typ zajęć: Wykład, 30 godzin, 60 miejsc więcej informacji
Koordynatorzy: Zbigniew Pióro
Prowadzący grup: Zbigniew Pióro
Lista studentów: (nie masz dostępu)
Zaliczenie: Ocena łączna
Jednostka realizująca:

103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki

Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2012/2013 - sem. zimowy" (zakończony)

Okres: 2012-10-01 - 2013-02-19
Wybrany podział planu:


powiększ
zobacz plan zajęć
Typ zajęć: Wykład, 30 godzin, 60 miejsc więcej informacji
Koordynatorzy: Zbigniew Pióro
Prowadzący grup: Zbigniew Pióro
Lista studentów: (nie masz dostępu)
Zaliczenie: Ocena łączna
Jednostka realizująca:

103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki

Opisy przedmiotów w USOS i USOSweb są chronione prawem autorskim.
Właścicielem praw autorskich jest Politechnika Warszawska.