Politechnika Warszawska - Centralny System Uwierzytelniania
Nie jesteś zalogowany | zaloguj się
katalog przedmiotów - pomoc

Podstawy technologii układów i systemów

Informacje ogólne

Kod przedmiotu: 103A-ELxxx-ISP-PTUIS Kod Erasmus / ISCED: (brak danych) / (brak danych)
Nazwa przedmiotu: Podstawy technologii układów i systemów
Jednostka: Wydział Elektroniki i Technik Informacyjnych
Grupy: ( Przedmioty obieralne )-Elektronika i inżynieria komputerowa-inż.-EITI
( Przedmioty techniczne )---EITI
( Systemy elektroniczne i mikroelektroniczne )-Elektronika i inżynieria komputerowa-inż.-EITI
Punkty ECTS i inne: 4.00
Język prowadzenia: polski
Jednostka decyzyjna:

103000 - Wydział Elektroniki i Technik Informacyjnych

Kod wydziałowy:

PTUIS

Numer wersji:

1

Skrócony opis:

Wytwarzanie przyrządów, całych układów i systemów mikroelektronicznych, optoelektronicznych i mikromechanicznych opiera się w istocie na pewnej specyficznej grupie procesów technologicznych. Szczególnym zrządzeniem losu, procesy technologiczne dla wszystkich trzech grup przyrządów, układów i systemów pochodzą z pewnych spójnych grup procesów, czasem realizowanych dokładnie tak samo, czasem w innym zakresie wartości parametrów. Podstawowe różnice realizacji tych procesów sprowadzają się przede wszystkim do optymalizacji, w każdej z trzech grup technologii, pod inne parametry, lub inne zakresy wartości tych samych parametrów.
Dlatego, w układzie tego przedmiotu, kluczem do szybkiego i sprawnego wyłożenia zagadnień technologicznych jest zapoznanie studentów ogólnie z procesami stosowanymi do tej grupy technologii, w każdym konkretnym przypadku opisując dopiero jego warianty stosowane w poszczególnych typach zastosowań.
Przejście od poszczególnych przyrządów do (...)

Pełny opis:

Wytwarzanie przyrządów, całych układów i systemów mikroelektronicznych, optoelektronicznych i mikromechanicznych opiera się w istocie na pewnej specyficznej grupie procesów technologicznych. Szczególnym zrządzeniem losu, procesy technologiczne dla wszystkich trzech grup przyrządów, układów i systemów pochodzą z pewnych spójnych grup procesów, czasem realizowanych dokładnie tak samo, czasem w innym zakresie wartości parametrów. Podstawowe różnice realizacji tych procesów sprowadzają się przede wszystkim do optymalizacji, w każdej z trzech grup technologii, pod inne parametry, lub inne zakresy wartości tych samych parametrów.

Dlatego, w układzie tego przedmiotu, kluczem do szybkiego i sprawnego wyłożenia zagadnień technologicznych jest zapoznanie studentów ogólnie z procesami stosowanymi do tej grupy technologii, w każdym konkretnym przypadku opisując dopiero jego warianty stosowane w poszczególnych typach zastosowań.

Przejście od poszczególnych przyrządów do układów i systemów stwarza kolejne problemy scalania w znacznym stopniu rozwiązywane podobnie we wszystkich trzech dziedzinach. Dzieje się tak tym bardziej, że należy przypuszczać, że wkrótce w niektórych zastosowaniach elementy wszystkich tych typów będą zintegrowane - realizowane wspólnie, obok siebie na jednym podłożu (koncepcja SOC - ang. System-On-Chip).

W ramach tego przedmiotu nacisk kładziony będzie na zapoznanie słuchaczy z podstawowymi zagadnieniami związanymi z wytwarzaniem przyrządów, układów i całych systemów mikroelektronicznych, optoelektronicznych i mikromechanicznych. Zastosowany podział zagadnień na wytwarzanie nowych warstw, formowanie ich kształtów i modyfikacja właściwości pozwala na uniwersalne potraktowanie tych zagadnień technologicznych niezależnie od charakteru przyszłego zastosowania budowanych przyrządów. Wydzielone zostały natomiast te grupy zagadnień, które nie poddają się temu podziałowi, szczególnie w wyniku specyficznego charakteru zadań, jakie dane przyrządy mają pełnić.



Treść wykładu

  1. Wprowadzenie do przedmiotu (1h).

  2. Czystość technologiczna (1h)

    • Wymagania technologicznej czystości, definicje, ...

    • Sposoby uzyskiwania i utrzymywania czystości technologicznej


  3. Grupy procesów niezbędnych do zbudowania przyrządów

  4. Wytwarzanie nowych warstw (6h)
    • klasyfikacja procesów

    • półprzewodnikowych

    • dielektrycznych

    • metalicznych

    • metody chemicznego osadzania z fazy lotnej

    • metody fizycznego osadzania z fazy lotnej

    • metody nietypowe (np. "spin-on")


    Definiowanie kształtów (4h).
    • strategie definiowania kształtów i wynikające z nich wymagania

    • fotolitografia

    • trawienia (mokre i suche)

    • LIGA


    Modyfikacja właściwości (globalna i lokalna) (3h).
    • lokalna - np. domieszkowanie (implantacja, dyfuzja wysokotemperaturowa)

    • globalna - np. rekrystalizacja


  5. Problemy wynikające ze wzajemnych oddziaływań (sekwencji procesów) (2h)


    • redystrybucja domieszek

    • zmiany struktury materiału


  6. Izolacja wzajemna przyrządów w układach (2h).

    • izolacja dielektryczna

    • izolacja złączowa

    • problemy termicznych sprzężeń

  7. Specyficzne zadania technologiczne wynikające z konstrukcji mikrosystemów (4h).

    • wytwarzanie belek

    • wytwarzanie membran

    • wytwarzanie elementów ruchomych

    • łączenie warstw


  8. Specyficzne zadania technologiczne wynikające z konstrukcji przyrządów optoelektronicznych (4h)

    • skutki zastosowania innych materiałów

    • skutki wykorzystania odmiennych efektów - fizyki działania przyrządów

  9. Specyficzne zadania technologiczne wynikające z łączenia/mieszania różnych typów przyrządów (2h).



Zakres laboratorium
Laboratorium do tego przedmiotu będzie prowadzone w dwóch przeplatających się płaszczyznach.

Z jednej strony prowadzone będą ćwiczenia praktyczne w laboratorium technologicznym IMiO PW (Zakładu Przyrządów Mikroelektroniki i Nanoelektroniki). Wykonywane w trakcie laboratorium procesy technologiczne będą potem charakteryzowane za pomocą odpowiednich pomiarów.

Z drugiej strony - bardzo ważnym uzupełnieniem ćwiczeń praktycznych będą prowadzone w trybie interaktywnym, na komercyjnych symulatorach (ATHENA firmy Silvaco, TRIM - IBM), symulacje procesów technologicznych.

W czasie zajęć laboratoryjnych studenci będą także prowadzić, posługując się ogólnie znanymi modelami teoretycznymi, własne symulacje i obliczenia, które pozwolą na wyciągnięcie interesujących wniosków z wykonanych procesów, pomiarów i obliczeń.



Poprzedniki
Typ poprzednikaNr poprzednikaKod poprzednikaNazwa poprzednika
Wymagany1103C-ELxxx-ISP-PPPrzyrządy półprzewodnikowe
Wymagany1103C-TExxx-ISP-ELIUElementy i układy elektroniczne

Literatura:

R.B. Beck "Technologia krzemowa", PWN Warszawa 1991


Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2019/2020 - sem. letni" (zakończony)

Okres: 2020-02-22 - 2020-09-30
Wybrany podział planu:


powiększ
zobacz plan zajęć
Typ zajęć: Laboratorium, 15 godzin, 30 miejsc więcej informacji
Wykład, 30 godzin, 30 miejsc więcej informacji
Koordynatorzy: Romuald Beck, Robert Mroczyński
Prowadzący grup: Romuald Beck, Robert Mroczyński
Lista studentów: (nie masz dostępu)
Zaliczenie: Ocena łączna
Jednostka realizująca:

103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki

Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2019/2020 - sem. zimowy" (zakończony)

Okres: 2019-10-01 - 2020-02-21
Wybrany podział planu:


powiększ
zobacz plan zajęć
Typ zajęć: Laboratorium, 15 godzin, 30 miejsc więcej informacji
Wykład, 30 godzin, 30 miejsc więcej informacji
Koordynatorzy: Romuald Beck, Robert Mroczyński
Prowadzący grup: Romuald Beck, Robert Mroczyński
Lista studentów: (nie masz dostępu)
Zaliczenie: Ocena łączna
Jednostka realizująca:

103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki

Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2018/2019 - sem. letni" (zakończony)

Okres: 2019-02-18 - 2019-09-30
Wybrany podział planu:


powiększ
zobacz plan zajęć
Typ zajęć: Laboratorium, 15 godzin, 30 miejsc więcej informacji
Wykład, 30 godzin, 30 miejsc więcej informacji
Koordynatorzy: Romuald Beck, Robert Mroczyński
Prowadzący grup: Romuald Beck, Robert Mroczyński
Lista studentów: (nie masz dostępu)
Zaliczenie: Ocena łączna
Jednostka realizująca:

103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki

Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2018/2019 - sem. zimowy" (zakończony)

Okres: 2018-10-01 - 2019-02-17
Wybrany podział planu:


powiększ
zobacz plan zajęć
Typ zajęć: Laboratorium, 15 godzin, 30 miejsc więcej informacji
Wykład, 30 godzin, 30 miejsc więcej informacji
Koordynatorzy: Romuald Beck, Robert Mroczyński
Prowadzący grup: Romuald Beck, Robert Mroczyński
Lista studentów: (nie masz dostępu)
Zaliczenie: Ocena łączna
Jednostka realizująca:

103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki

Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2017/2018 - sem. zimowy" (zakończony)

Okres: 2017-10-01 - 2018-02-18
Wybrany podział planu:


powiększ
zobacz plan zajęć
Typ zajęć: Laboratorium, 15 godzin, 80 miejsc więcej informacji
Wykład, 30 godzin, 80 miejsc więcej informacji
Koordynatorzy: Romuald Beck
Prowadzący grup: (brak danych)
Lista studentów: (nie masz dostępu)
Zaliczenie: Ocena łączna
Jednostka realizująca:

103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki

Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2016/2017 - sem. letni" (zakończony)

Okres: 2017-02-20 - 2017-09-30
Wybrany podział planu:


powiększ
zobacz plan zajęć
Typ zajęć: Laboratorium, 15 godzin, 30 miejsc więcej informacji
Wykład, 30 godzin, 30 miejsc więcej informacji
Koordynatorzy: Romuald Beck
Prowadzący grup: Romuald Beck
Lista studentów: (nie masz dostępu)
Zaliczenie: Ocena łączna
Jednostka realizująca:

103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki

Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2015/2016 - sem. letni" (zakończony)

Okres: 2016-02-23 - 2016-09-30
Wybrany podział planu:


powiększ
zobacz plan zajęć
Typ zajęć: Laboratorium, 15 godzin, 30 miejsc więcej informacji
Wykład, 30 godzin, 30 miejsc więcej informacji
Koordynatorzy: Romuald Beck
Prowadzący grup: Romuald Beck
Lista studentów: (nie masz dostępu)
Zaliczenie: Ocena łączna
Jednostka realizująca:

103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki

Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2014/2015 - sem. letni" (zakończony)

Okres: 2015-02-23 - 2015-09-30
Wybrany podział planu:


powiększ
zobacz plan zajęć
Typ zajęć: Laboratorium, 15 godzin, 30 miejsc więcej informacji
Wykład, 30 godzin, 30 miejsc więcej informacji
Koordynatorzy: Romuald Beck
Prowadzący grup: Romuald Beck
Lista studentów: (nie masz dostępu)
Zaliczenie: Ocena łączna
Jednostka realizująca:

103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki

Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2013/2014 - sem. letni" (zakończony)

Okres: 2014-02-24 - 2014-09-28
Wybrany podział planu:


powiększ
zobacz plan zajęć
Typ zajęć: Laboratorium, 15 godzin, 30 miejsc więcej informacji
Wykład, 30 godzin, 30 miejsc więcej informacji
Koordynatorzy: Romuald Beck
Prowadzący grup: Romuald Beck
Lista studentów: (nie masz dostępu)
Zaliczenie: Ocena łączna
Jednostka realizująca:

103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki

Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2013/2014 - sem. zimowy" (zakończony)

Okres: 2013-10-01 - 2014-02-23
Wybrany podział planu:


powiększ
zobacz plan zajęć
Typ zajęć: Laboratorium, 15 godzin, 30 miejsc więcej informacji
Wykład, 30 godzin, 30 miejsc więcej informacji
Koordynatorzy: Romuald Beck
Prowadzący grup: Romuald Beck
Lista studentów: (nie masz dostępu)
Zaliczenie: Ocena łączna
Jednostka realizująca:

103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki

Opisy przedmiotów w USOS i USOSweb są chronione prawem autorskim.
Właścicielem praw autorskich jest Politechnika Warszawska.