Nanotechnologie
Informacje ogólne
Kod przedmiotu: | 103A-ELxxx-MSP-NAN | ||||||||||||
Kod Erasmus / ISCED: | (brak danych) / (brak danych) | ||||||||||||
Nazwa przedmiotu: | Nanotechnologie | ||||||||||||
Jednostka: | Wydział Elektroniki i Technik Informacyjnych | ||||||||||||
Grupy: |
( Materiały i nanotechnologie )-Mikroelektronika, fotonika i nanotechnologie-mgr.-EITI ( Przedmioty techniczne )---EITI ( Przedmioty zaawansowane obieralne )-Elektronika i informatyka w medycynie-mgr.-EITI ( Przedmioty zaawansowane obieralne )-Inżynieria biomedyczna-mgr.-EITI ( Przedmioty zaawansowane obieralne )-Systemy zintegrowanej elektroniki i fotoniki-mgr.-EITI ( Przedmioty zaawansowane techniczne )--mgr.-EITI |
||||||||||||
Punkty ECTS i inne: |
4.00
|
||||||||||||
Język prowadzenia: | polski | ||||||||||||
Jednostka decyzyjna: | 103000 - Wydział Elektroniki i Technik Informacyjnych |
||||||||||||
Kod wydziałowy: | NAN |
||||||||||||
Numer wersji: | 1 |
||||||||||||
Skrócony opis: |
Celem wykładu jest zaprezentowanie stanu obecnego i perspektyw rozwoju nanotechnologii oraz związanych z tym problemów i ograniczeń, szczególnie w kontekście realizacji struktur przetwarzających informację. Dyskutowane będą uwarunkowania fizyczne i technologiczne procesów umożliwiających wytwarzanie i obróbkę materiałów, struktur, przyrządów i układów w skali nanometrowej, tj. specyfika środowisk "clean-room", próżni oraz plazmy. Omówione zostaną również klasyczne (wraz z modyfikacjami) i alternatywne metody wytwarzania nanostruktur niskowymiarowych. W ramach projektu studenci będą pogłębiać swoją wiedzę przygotowując krótkie prezentacje dotyczące szeroko pojmowanych nanotechnologii. |
||||||||||||
Pełny opis: |
Celem wykładu jest zaprezentowanie stanu obecnego i perspektyw rozwoju nanotechnologii oraz związanych z tym problemów i ograniczeń, szczególnie w kontekście realizacji struktur przetwarzających informację. Dyskutowane będą uwarunkowania fizyczne i technologiczne procesów umożliwiających wytwarzanie i obróbkę materiałów, struktur, przyrządów i układów w skali nanometrowej, tj. specyfika środowisk "clean-room", próżni oraz plazmy. Omówione zostaną również klasyczne (wraz z modyfikacjami) i alternatywne metody wytwarzania nanostruktur niskowymiarowych. W ramach projektu studenci będą pogłębiać swoją wiedzę przygotowując krótkie prezentacje dotyczące szeroko pojmowanych nanotechnologii.
Definicje nanotechnologii oraz wybranych dziedzin przez nie realizowanych (nanoelektroniki, elektroniki molekularnej, spintroniki i nanobiotechnologii). Dwie filozofie realizacji nanostruktur: "top-down" i "bottom-up".
Rys historyczny, przykłady już istniejących i przewidywanych zastosowań; główne trendy rozwojowe. Uwarunkowania ekonomiczno-społeczne.
Ograniczenia klasyczne (technologiczno-konstrukcyjne) oraz fundamentalne (ziarnistość materii, termodynamika, efekty mezoskopowe i kwantowe, fundamentalne oddziaływania w przyrodzie).
Definicje, parametry i wielkości podstawowe. Elementy kinetycznej teorii gazów. Sposoby wytwarzania próżni i próżniomierze - klasyfikacja urządzeń, zasada działania oraz podstawowe parametry.
Stany skupienia materii. Plazma - definicje, parametry, charakterystyczne zjawiska. Korzyści wynikające z zastosowań plazmy w nanotechnologiach. Wybrane procesy nano-technologiczne realizowane w środowisku plazmy (synteza i trawienie materiałów, płytka implantacja) i ich specyfika.
Epitaksja - definicja, odmiany, specyfika. Wybrane zagadnienia związane ze wzrostem epitaksjalnym. Technologie fizycznego (PVD) a chemicznego (CVD) osadzania z fazy lotnej na przykładzie technik epitaksji z wiązek molekularnych (MBE) i chemicznego osadzania z fazy lotnej przy użyciu związków metalo-organicznych MO CVD (oraz organo-metalicznych (OM CVD)) - definicje, cechy charakterystyczne, specyfika, wybrane zagadnienia konstrukcyjno-technologiczne, kontrolowanie i przebieg procesów, wybrane modyfikacje. Wady i zalety technik MBE i MO (oraz OM) CVD - porównanie.
Idea, możliwości i ograniczenia. Problemy związane z redukcją rozmiarów przy użyciu układów projekcyjnych ? maksymalna rozdzielczość, zjawisko dyfrakcji, kryteria Rayleigha i Abbego. Techniki litograficzne - fotolitografia klasyczna i jej modyfikacje: litografia z korekcją efektów bliskości (OPC), litografia z przesunięciem fazowym (PSM), litografia pozaosiowa (OAI), litografia immersyjna. Fotolitografia w głębokim i bardzo głębokim ultrafiolecie (DUV i EUV). Litografia elektronowa, rentgenowska i wiązką jonów.
Techniki "miękkiej" litografii: druk mikrokontaktowy (?CP), nanowdrukowywanie, odciskanie, druk nanotransferowy (nTP) - idee, możliwości i ograniczenia. Techniki nanolitograficzne i nanomanipulacji wykorzystujące mikroskopię bliskich oddziaływań: naświetlanie rezystu i utlenianie indukowane sondą skaningową, nanolitografia zwilżanym ostrzem, manipulacja atomami. Inne egzotyczne technologie wytwarzania nanostruktur (np. atomowa litografia optyczna, techniki wykorzystujące zjawiska samoorganizacji materii).
Zakres projektu W trakcie zajęć projektowych studenci przygotowywać będą krótkie (~15 min.) referaty na zadane bądź samodzielnie zaproponowane, leżące w obszarze ich zainteresowań tematy, dotyczące szeroko rozumianych nanotechnologii, nanoinżynierii nanomateriałów i nanostruktur. Poprzedniki
|
||||||||||||
Literatura: |
|
||||||||||||
Metody i kryteria oceniania: |
W trakcie semestru zostaną przeprowadzone dwa 1-godzinne kolokwia, każde oceniane w skali 0-10 punktów. W takiej samej skali (0-10 punktów) oceniany będzie poziom przygotowania projektu. Warunkiem zaliczenia przedmiotu jest równoczesne uzyskanie z kolokwiów i projektu minimum 50% + 1 (czyli 16) punktów. |
Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2023/2024 - sem. zimowy" (jeszcze nie rozpoczęty)
Okres: | 2023-10-01 - 2024-02-18 |
![]() |
Typ zajęć: |
Projekt, 15 godzin, 60 miejsc
Wykład, 30 godzin, 60 miejsc
|
|
Koordynatorzy: | Aleksander Werbowy | |
Prowadzący grup: | Aleksander Werbowy | |
Lista studentów: | (nie masz dostępu) | |
Zaliczenie: | Ocena łączna | |
Jednostka realizująca: | 103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki |
Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2022/2023 - sem. letni" (w trakcie)
Okres: | 2023-02-20 - 2023-09-30 |
![]() |
Typ zajęć: |
Projekt, 15 godzin, 30 miejsc
Wykład, 30 godzin, 30 miejsc
|
|
Koordynatorzy: | Aleksander Werbowy | |
Prowadzący grup: | Aleksander Werbowy | |
Lista studentów: | (nie masz dostępu) | |
Zaliczenie: | Ocena łączna | |
Jednostka realizująca: | 103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki |
Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2022/2023 - sem. zimowy" (zakończony)
Okres: | 2022-10-01 - 2023-02-19 |
![]() |
Typ zajęć: |
Projekt, 15 godzin, 60 miejsc
Wykład, 30 godzin, 60 miejsc
|
|
Koordynatorzy: | Aleksander Werbowy | |
Prowadzący grup: | Aleksander Werbowy | |
Lista studentów: | (nie masz dostępu) | |
Zaliczenie: | Ocena łączna | |
Jednostka realizująca: | 103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki |
Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2021/2022 - sem. letni" (zakończony)
Okres: | 2022-02-23 - 2022-09-30 |
![]() |
Typ zajęć: |
Projekt, 15 godzin, 30 miejsc
Wykład, 30 godzin, 30 miejsc
|
|
Koordynatorzy: | Aleksander Werbowy | |
Prowadzący grup: | Aleksander Werbowy | |
Lista studentów: | (nie masz dostępu) | |
Zaliczenie: | Ocena łączna | |
Jednostka realizująca: | 103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki |
Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2021/2022 - sem. zimowy" (zakończony)
Okres: | 2021-10-01 - 2022-02-22 |
![]() |
Typ zajęć: |
Projekt, 15 godzin, 60 miejsc
Wykład, 30 godzin, 60 miejsc
|
|
Koordynatorzy: | Aleksander Werbowy | |
Prowadzący grup: | Aleksander Werbowy | |
Lista studentów: | (nie masz dostępu) | |
Zaliczenie: | Ocena łączna | |
Jednostka realizująca: | 103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki |
Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2020/2021 - sem. letni" (zakończony)
Okres: | 2021-02-20 - 2021-09-30 |
![]() |
Typ zajęć: |
Projekt, 15 godzin, 60 miejsc
Wykład, 30 godzin, 60 miejsc
|
|
Koordynatorzy: | Aleksander Werbowy | |
Prowadzący grup: | Aleksander Werbowy | |
Lista studentów: | (nie masz dostępu) | |
Zaliczenie: | Ocena łączna | |
Jednostka realizująca: | 103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki |
Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2020/2021 - sem. zimowy" (zakończony)
Okres: | 2020-10-01 - 2021-02-19 |
![]() |
Typ zajęć: |
Projekt, 15 godzin, 60 miejsc
Wykład, 30 godzin, 60 miejsc
|
|
Koordynatorzy: | Aleksander Werbowy | |
Prowadzący grup: | Aleksander Werbowy | |
Lista studentów: | (nie masz dostępu) | |
Zaliczenie: | Ocena łączna | |
Jednostka realizująca: | 103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki |
Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2019/2020 - sem. letni" (zakończony)
Okres: | 2020-02-22 - 2020-09-30 |
![]() |
Typ zajęć: |
Projekt, 15 godzin, 65 miejsc
Wykład, 30 godzin, 65 miejsc
|
|
Koordynatorzy: | Aleksander Werbowy | |
Prowadzący grup: | Aleksander Werbowy | |
Lista studentów: | (nie masz dostępu) | |
Zaliczenie: | Ocena łączna | |
Jednostka realizująca: | 103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki |
Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2019/2020 - sem. zimowy" (zakończony)
Okres: | 2019-10-01 - 2020-02-21 |
![]() |
Typ zajęć: |
Projekt, 15 godzin, 45 miejsc
Wykład, 30 godzin, 45 miejsc
|
|
Koordynatorzy: | Aleksander Werbowy | |
Prowadzący grup: | Aleksander Werbowy | |
Lista studentów: | (nie masz dostępu) | |
Zaliczenie: | Ocena łączna | |
Jednostka realizująca: | 103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki |
Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2018/2019 - sem. letni" (zakończony)
Okres: | 2019-02-18 - 2019-09-30 |
![]() |
Typ zajęć: |
Projekt, 15 godzin, 65 miejsc
Wykład, 30 godzin, 65 miejsc
|
|
Koordynatorzy: | Aleksander Werbowy | |
Prowadzący grup: | Aleksander Werbowy | |
Lista studentów: | (nie masz dostępu) | |
Zaliczenie: | Ocena łączna | |
Jednostka realizująca: | 103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki |
Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2018/2019 - sem. zimowy" (zakończony)
Okres: | 2018-10-01 - 2019-02-17 |
![]() |
Typ zajęć: |
Projekt, 15 godzin, 65 miejsc
Wykład, 30 godzin, 65 miejsc
|
|
Koordynatorzy: | Aleksander Werbowy | |
Prowadzący grup: | Aleksander Werbowy | |
Lista studentów: | (nie masz dostępu) | |
Zaliczenie: | Ocena łączna | |
Jednostka realizująca: | 103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki |
Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2017/2018 - sem. letni" (zakończony)
Okres: | 2018-02-19 - 2018-09-30 |
![]() |
Typ zajęć: |
Projekt, 15 godzin, 65 miejsc
Wykład, 30 godzin, 65 miejsc
|
|
Koordynatorzy: | Aleksander Werbowy | |
Prowadzący grup: | Aleksander Werbowy | |
Lista studentów: | (nie masz dostępu) | |
Zaliczenie: | Ocena łączna | |
Jednostka realizująca: | 103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki |
Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2017/2018 - sem. zimowy" (zakończony)
Okres: | 2017-10-01 - 2018-02-18 |
![]() |
Typ zajęć: |
Projekt, 15 godzin, 65 miejsc
Wykład, 30 godzin, 65 miejsc
|
|
Koordynatorzy: | Aleksander Werbowy | |
Prowadzący grup: | Aleksander Werbowy | |
Lista studentów: | (nie masz dostępu) | |
Zaliczenie: | Ocena łączna | |
Jednostka realizująca: | 103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki |
Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2016/2017 - sem. letni" (zakończony)
Okres: | 2017-02-20 - 2017-09-30 |
![]() |
Typ zajęć: |
Projekt, 15 godzin, 64 miejsc
Wykład, 30 godzin, 64 miejsc
|
|
Koordynatorzy: | Aleksander Werbowy | |
Prowadzący grup: | Aleksander Werbowy | |
Lista studentów: | (nie masz dostępu) | |
Zaliczenie: | Ocena łączna | |
Jednostka realizująca: | 103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki |
Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2016/2017 - sem. zimowy" (zakończony)
Okres: | 2016-10-01 - 2017-02-19 |
![]() |
Typ zajęć: |
Projekt, 15 godzin, 60 miejsc
Wykład, 30 godzin, 60 miejsc
|
|
Koordynatorzy: | Aleksander Werbowy | |
Prowadzący grup: | Aleksander Werbowy | |
Lista studentów: | (nie masz dostępu) | |
Zaliczenie: | Ocena łączna | |
Jednostka realizująca: | 103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki |
Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2015/2016 - sem. letni" (zakończony)
Okres: | 2016-02-23 - 2016-09-30 |
![]() |
Typ zajęć: |
Projekt, 15 godzin, 64 miejsc
Wykład, 30 godzin, 64 miejsc
|
|
Koordynatorzy: | Aleksander Werbowy | |
Prowadzący grup: | Aleksander Werbowy | |
Lista studentów: | (nie masz dostępu) | |
Zaliczenie: | Ocena łączna | |
Jednostka realizująca: | 103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki |
Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2015/2016 - sem. zimowy" (zakończony)
Okres: | 2015-10-01 - 2016-02-22 |
![]() |
Typ zajęć: |
Projekt, 15 godzin, 48 miejsc
Wykład, 30 godzin, 48 miejsc
|
|
Koordynatorzy: | Aleksander Werbowy | |
Prowadzący grup: | Aleksander Werbowy | |
Lista studentów: | (nie masz dostępu) | |
Zaliczenie: | Ocena łączna | |
Jednostka realizująca: | 103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki |
Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2014/2015 - sem. letni" (zakończony)
Okres: | 2015-02-23 - 2015-09-30 |
![]() |
Typ zajęć: |
Projekt, 15 godzin, 65 miejsc
Wykład, 30 godzin, 65 miejsc
|
|
Koordynatorzy: | Aleksander Werbowy | |
Prowadzący grup: | Aleksander Werbowy | |
Lista studentów: | (nie masz dostępu) | |
Zaliczenie: | Ocena łączna | |
Jednostka realizująca: | 103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki |
Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2014/2015 - sem. zimowy" (zakończony)
Okres: | 2014-09-29 - 2015-02-22 |
![]() |
Typ zajęć: |
Projekt, 15 godzin, 60 miejsc
Wykład, 30 godzin, 60 miejsc
|
|
Koordynatorzy: | Aleksander Werbowy | |
Prowadzący grup: | Aleksander Werbowy | |
Lista studentów: | (nie masz dostępu) | |
Zaliczenie: | Ocena łączna | |
Jednostka realizująca: | 103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki |
Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2013/2014 - sem. letni" (zakończony)
Okres: | 2014-02-24 - 2014-09-28 |
![]() |
Typ zajęć: |
Projekt, 15 godzin, 65 miejsc
Wykład, 30 godzin, 65 miejsc
|
|
Koordynatorzy: | Aleksander Werbowy | |
Prowadzący grup: | Aleksander Werbowy | |
Lista studentów: | (nie masz dostępu) | |
Zaliczenie: | Ocena łączna | |
Jednostka realizująca: | 103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki |
Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2013/2014 - sem. zimowy" (zakończony)
Okres: | 2013-10-01 - 2014-02-23 |
![]() |
Typ zajęć: |
Projekt, 15 godzin, 65 miejsc
Wykład, 30 godzin, 65 miejsc
|
|
Koordynatorzy: | Aleksander Werbowy | |
Prowadzący grup: | Aleksander Werbowy | |
Lista studentów: | (nie masz dostępu) | |
Zaliczenie: | Ocena łączna | |
Jednostka realizująca: | 103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki |
Zajęcia w cyklu "rok akademicki 2012/2013 - sem. zimowy" (zakończony)
Okres: | 2012-10-01 - 2013-02-19 |
![]() |
Typ zajęć: |
Projekt, 15 godzin, 50 miejsc
Wykład, 30 godzin, 50 miejsc
|
|
Koordynatorzy: | Aleksander Werbowy | |
Prowadzący grup: | Aleksander Werbowy | |
Lista studentów: | (nie masz dostępu) | |
Zaliczenie: | Ocena łączna | |
Jednostka realizująca: | 103500 - Instytut Mikroelektroniki i Optoelektroniki |
Właścicielem praw autorskich jest Politechnika Warszawska.